硅片厚度測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)要描述：硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200由精確可調(diào)激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長(zhǎng)掃描光聚焦照射到目標(biāo)上，由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。

產(chǎn)品型號(hào)：SIT-200
更新時(shí)間：2024-08-06
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產(chǎn)品分類

Product classification

激光調(diào)制與測(cè)量

光調(diào)制器波前分析儀光學(xué)斬波器光束質(zhì)量分析儀光電探測(cè)器激光功率計(jì)能量計(jì) 激光測(cè)距儀單光子探測(cè)器光學(xué)測(cè)量設(shè)備斬波器激光波長(zhǎng)計(jì)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

品牌	其他品牌	價(jià)格區(qū)間	面議
組件類別	其他	應(yīng)用領(lǐng)域	電子

詳細(xì)介紹

硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200

硅片厚度測(cè)量?jī)x（SIT-200）由精確可調(diào)激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長(zhǎng)掃描光聚焦照射到目標(biāo)上，由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。

硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 全光學(xué)，非接觸硅片厚度測(cè)試

l 高動(dòng)態(tài)范圍測(cè)量粗糙表面

l 濕法刻蝕過程中實(shí)時(shí)測(cè)量

高靈敏度高精度快速測(cè)量遠(yuǎn)程控制

結(jié)構(gòu)示意圖

SIT-200

產(chǎn)品參數(shù)：

測(cè)量目標(biāo)	硅片
測(cè)量厚度	10-500μm
光源	1515-1585nm掃描
功率	0.6mw，Class1
指示光源	紅光，Class1M
測(cè)量時(shí)間	20ms
重復(fù)性	0.1μm
輸出監(jiān)控	干擾信號(hào)（電學(xué)）
PC接口	網(wǎng)口
供電	100-240V，50/60Hz
尺寸	364 x 147 x 391mm
重量	9kg

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